德龙激光取得集晶圆涂胶与清洗为一体的摆臂装置专利，对晶圆涂胶与清洗及载台清洁

　　金融界2024年1月4日消息，据国家知识产权局公告，开云集团苏州德龙激光股份有限公司取得一项名为“集晶圆涂胶与清洗为一体的摆臂装置”，授权公告号CN220277448U，申请日期为2023年7月。

　　专利摘要显示，本实用新型涉及集晶圆涂胶与清洗为一体的摆臂装置，减速机安装板和防水组件安装板连接于摆臂组件固定板上，减速机固定在减速机安装板上，伺服电机主轴与减速机输入轴连接，防水组件固定在防水组件安装板上，支撑杆穿过防水组件且旋转支撑于防水组件上，支撑杆一端与减速机输出轴连接，支撑杆为中空结构，支撑杆上安装水路接头一，支撑杆另一端连接卡套弯头，卡套弯头连接气管固定块一，支撑杆供水通道经过卡套弯头的内腔与气管固定块一的内腔相通，气管固定块一上连接一水路接头二，气管固定块一上固定摆臂钣金件，水气喷嘴组件、涂胶喷嘴组件和气管固定块二固定于摆臂钣金件上，清洁载台喷嘴固定于气管固定块二上，对晶圆涂胶与清洗及载台清洁。